臭氧发生器的气体可以用什么流量计测量

臭氧发生器的气体流量测量，常用的是法米特热式气体质量流量计，具体选择要看测的是进气还是出气、流量大小以及精度要求。‌‌

‌法米特热式气体质量流量计‌：目前臭氧工况用得较多，直接测量质量流量，无需温压补偿，量程比宽，可测微小流量和大管径，适合臭氧这种易分解、工况多变的气体。

选型注意

‌测进气还是出气‌很关键：进气（氧气/空气）可选普通气体流量计；出气含臭氧，接触部件必须耐强氧化，橡胶管不可用。

臭氧易分解，温度升高加速分解，选型时注意介质温度范围，热式流量计一般支持-40~200℃。