气体质量流量计是什么原理

气体质量流量计的原理主要基于‌热扩散原理、‌振荡式测量原理和‌压降式测量原理。‌ 热式气体质量流量计利用热扩散原理，通过测量气体带走热量来计算流量。振荡式测量原理利用‌传感器振动频率与流体密度成反比的关系来测量流量。压降式测量原理则利用传感器两侧的压力差和流体密度来计算流量。

热式气体质量流量计的具体工作原理

热式气体质量流量计利用热扩散原理，通过两个热电阻（RTD）来测量气体流量。一个RTD作为速度传感器被加热，另一个作为温度传感器感应气体温度。当气体流过速度传感器时，会带走热量，导致传感器温度下降。为了保持温度恒定，必须增加通过传感器的电流，增加的电流与气体流速成正比，从而计算出气体质量流量。

其他类型气体质量流量计的原理

除了热式气体质量流量计，还有其他类型的流量计，如高纯气体系统用质量流量计，它通过毛细管的热交换原理来测量气体质量流量。这种流量计在传感器部分的毛细管处绕两个电阻，形成电桥，当气体流动时，电桥输出信号与流量成正比，从而计算出气体质量流量。